Technical information

Tại sao tấm Wafer tròn vậy? Vai trò của tủ khô và tủ N2 trong sản xuất bán dẫn

Lượt xem:25905

Chi tiết bài viết

Như chúng ta đã biết, khi so sánh cùng một khu vực, một sản phẩm hình tròn và một sản phẩm hình vuông có cùng đường kính hoặc chiều dài cạnh sẽ có việc sử dụng không gian khác nhau. Nói chung, hình vuông cho phép sử dụng không gian hiệu quả hơn, có nghĩa là chúng có tỷ lệ sử dụng không gian hiệu quả cao hơn. Vậy tại sao chúng ta vẫn sử dụng tấm mỏng tròn thay vì tấm vuông? Các khuôn vuông được đặt trên một Wafer tròn chắc chắn dẫn đến một số không gian lãng phí. Trong thế giới hiện đại ngày nay, nơi mà lợi nhuận và hiệu quả được theo đuổi cao, cấu hình này tiếp tục được sử dụng. Nó làm cho ta tự hỏi: cái gì ở vòng tròn cho phép nó nổi bật giữa các hình dạng khác nhau?

Câu trả lời nằm trong quá trình sản xuất của tấm silicon. Các tấm silicon được tinh chế, tan chảy bằng phương pháp kéo đơn tinh thể (còn được gọi là quy trình czochralski), và sau đó cắt thành các mảnh mỏng. Kỹ thuật kéo quay được sử dụng trong quá trình này vốn xác định hình dạng hình trụ của phôi, do đó, điều này cho thấy các tấm Wafer là hình tròn.

Tuy nhiên, nếu bạn nhìn kỹ hơn, bạn sẽ nhận thấy rằng tấm Wafer không tròn hoàn hảo. Chúng thường có rãnh phẳng hoặc rãnh chữ V. Các tính năng này phục vụ một mục đích quan trọng: Chúng giúp xác định định hướng của Wafer trong quá trình sản xuất tiếp theo. Ngoài ra, các rãnh này đánh dấu Cấu trúc kim loại của sự phát triển tinh thể đơn, hỗ trợ các quy trình cắt và kiểm tra chính xác. Thật thú vị, hầu hết các vật liệu được loại bỏ trong bước này đến từ các cạnh, có thể được xem như là một hình thức Tái Sử Dụng Tài Nguyên.

Bây Giờ, hãy giới thiệu hai công cụ thiết yếu trong sản xuất bán dẫn:Tủ khôTủ N2. Các giải pháp lưu trữ chuyên dụng này đóng một vai trò quan trọng trong việc duy trì chất lượng và tính toàn vẹn của tấm Wafer trong quá trình sản xuất và lưu trữ. Tủ khô cung cấp môi trường độ ẩm cực thấp để ngăn ngừa ô nhiễm độ ẩm, trong khi tủ N2 sử dụng khí Nitơ để tạo ra bầu không khí trơ, bảo vệ các vật liệu nhạy cảm khỏi quá trình oxy hóa và các hình thức suy thoái khác. Cùng nhau, những chiếc tủ này đảm bảo rằng các tấm Wafer được chế tác tỉ mỉ vẫn còn nguyên vẹn trong suốt hành trình từ chế tạo đến lắp ráp cuối cùng.

Tóm lại, việc lựa chọn các tấm Wafer tròn trên tấm vuông bắt nguồn sâu sắc trong vật lý và kỹ thuật của quá trình sản xuất. Mặc dù có thể có một số sự không hiệu quả về không gian, nhưng lợi thế của các tấm Wafer tròn-kết hợp với các giải pháp tiên tiến nhưTủ khôTủ N2-Biến chúng thành lựa chọn lý tưởng để đạt được các Sản phẩm bán dẫn chất lượng cao. Sự cân bằng truyền thống và đổi mới này là thứ giữ cho Wafer tròn đi đầu trong công nghệ hiện đại.

Trước:
Tiếp theo: